一、 凈化工程的分類
1.層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,,一般其潔凈室等級為Class 1~100??梢苑譃橐韵?,兩種形式:
1)垂直層流式:房間天花板完全以過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,,可得較高之潔凈度,,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域,。
優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),,不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。
缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,,天花板之吊架相當(dāng)占空間,,維修更換過濾器較麻煩,。
2)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),,塵埃隨風(fēng)向排出室外,,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定,。
缺點:建造費用比亂流式高,,室內(nèi)空間不易擴充。
2.亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器進入潔凈室,,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,,在某些特殊用途場所,,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級,。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間,。
二,、凈化工程的行業(yè)應(yīng)用
隨著電子元器件向微小化方向發(fā)展,液晶面板已經(jīng)升級至第八代,,行業(yè)需求非常巨大,。凈化工程是一個應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),,目前在電子信息、半導(dǎo)體,、光電子,、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生,、生物工程,、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,,并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大,。凈化車間另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間,,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。