由于電子產(chǎn)品在制造,、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,,同時還對其環(huán)境的溫濕度,、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定,。半導體無塵車間
1、室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
2,、垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了,。
3,、與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa,。
4,、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
5、補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和,。
6,、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
7,、凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,,應設(shè)置新風,,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設(shè)置無水保護,,寒冷地區(qū),,新風系統(tǒng)應設(shè)置防凍保護措施。無塵室的送風量,。半導體無塵車間