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光學(xué)微電子凈化工程

作者:科凌凈化 瀏覽量:984 來源:廣州科凌 時間:2021-11-24 14:41:48

信息摘要:

凈化工程的定義:將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子,、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,,并將室內(nèi)之溫濕度,、潔凈度、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給于特別設(shè)計之密閉空間,。凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體,、精密制造,、液晶制造、光學(xué)制造,、線路板制造和

凈化工程的定義:將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子,、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,,并將室內(nèi)之溫濕度,、潔凈度、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布,、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給于特別設(shè)計之密閉空間,。

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凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體,、精密制造,、液晶制造、光學(xué)制造,、線路板制造和生物化學(xué),、醫(yī)藥,、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,,對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,,如超大型積體電路之研究制造,,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位,。

凈化工程的結(jié)構(gòu)材料:
1,、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房,、物料凈化用室和部分生活用室等)
3,、 管理區(qū)(包括辦公、值班,、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用,、電氣用房,、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程,,即可達(dá)到凈化目的,。
 
凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次,;1000≥30次,。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s,;溫度 冬季>16℃,;夏季 <26℃;波動±2℃,。
溫度45-65%,;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電,。
噪聲≤65dB(A),;新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX,。
 
凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1. 凈化廠房墻,、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀,、剛性強,。圓弧墻 角,、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造,。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,,有防靜電要求的,可選用防靜電型,。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,,美觀清潔,,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,,宜清潔,。

本文標(biāo)簽: 凈化工程
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