一、不攜入

在潔凈車間內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1）作業(yè)員進(jìn)入潔凈車間前,，機(jī)臺,、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理,；

2）進(jìn)入潔凈車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服,、帽,、鞋、手套,、口罩等,。

3）通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入潔凈車間,。

4）機(jī)器及材料帶進(jìn)潔凈車間前,，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)潔凈車間前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入潔凈車間,。

5）潔凈車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間,。

二、不制造

在控制最大污染源--人在凈化車間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺的發(fā)塵量,。因物品在移動時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,，而物品在移動時(shí)也會有微粒子的發(fā)生,。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì),；

3）采用發(fā)塵小的潤滑油,；

4）機(jī)臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三,、不儲備

若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù),，潔凈室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺的掣動,，在廣大的潔凈車間內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的,。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面,。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起,，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。

在最高等級的潔凈車間中從天花板到地面,，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動,。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計(jì)算出來的數(shù)值。同時(shí),，空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話,，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時(shí)間漂流在潔凈車間內(nèi)，而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染,。

控制氣流可防止微粒子累積,，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

潔凈車間內(nèi)的浮游微粒子濃度,，使用高性能的過濾器即可容易達(dá)到零水平,，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機(jī)器,、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染,。

四,、排除/除去 

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中，為了不讓潔凈車間內(nèi)產(chǎn)生微粒子,，因此直接做對外排氣的動作,，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,，但會伴隨大量的能源消耗,。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí),，不僅僅是向潔凈室外排氣,，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到潔凈車間內(nèi)之對策。