光學(xué)微電子凈化工程解決方案:   

凈化工程的設(shè)計(jì)過程中，應(yīng)加強(qiáng)對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝,、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度,。再根據(jù)該工程的具體情況,，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,，這樣才可設(shè)計(jì)出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求,、工程造價合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案,。   

1,、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口   

這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,，如混合段,、初效過濾段、表冷段,、二次回風(fēng)段(或中間段),、加熱段、加濕段,、中效過濾段,、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供,。   

優(yōu)點(diǎn)：   

A.空氣處理效果好,，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風(fēng)過程中被污染程度較低,。送風(fēng)的溫度,、濕度的控制比較精確;   

B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;   

C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;   

D.維修頻率較低;   

E.車間的噪音低。   

缺點(diǎn)：   

A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間,。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房,，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右,。對于舊廠房改造項(xiàng)目來說比較困難空出一個20-30┫的機(jī)房的;   

B.造價高,。   

特點(diǎn)：   

A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);   

C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級,、千級或萬級,、十萬級等較低的凈化無塵廠房。   

2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口   

與前種方案比較,，這是相對比較簡單的空調(diào)方案,。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi),，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi),。   

優(yōu)點(diǎn)：   

A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低,。送風(fēng)的溫度,、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;   

B.布置靈活,。自帶冷源;   

C.大小廠房,、新舊廠房都適用;   

D.維修頻率較低;   

E.車間噪音低。   

缺點(diǎn)：   

A.需要小面積的機(jī)房,。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;   

B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;   

C.造價較低,。

特點(diǎn)：

這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),，具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級,、十萬級等的凈化無塵廠房,。 

3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口   

這是最簡易的一個空調(diào)方案,。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花,。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間,。   

優(yōu)點(diǎn)：   

A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的;   

B.可以滿足空氣的潔凈度;   

C.造價最低,。如此類無塵車間初投資約需要40萬;   

D.送風(fēng)均勻度好,。   

缺點(diǎn)：   

A.溫濕度控制較差;   

B.可以滿足空氣的潔凈度;   

C.FFU的維修頻率高。   

4,、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無塵車間的特點(diǎn)   

A,、無塵車間的潔凈度:   

LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。   

在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無塵車間,，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級,。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間,，其潔凈度一般為萬級或十萬級,。   

B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求：   

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃,，相對濕度為55+5%,。   

(2)新風(fēng)量大,。由于這類車間內(nèi)，人員比較多,，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h,。   

(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,，需要較大的送風(fēng)量,，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的,，如果是萬級,，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級,，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),，是≥15次/h)。   

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì),，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案,，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。