無塵室(Clean Room),,也稱為潔凈室,。
潔凈室是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒,、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫濕度,、潔凈度,、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設計需求范圍內(nèi),,而給予特別設計的房間,。
不論外面空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持所設定的潔凈度,、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性,。
無塵室的污染來源
污染源主要有四種:人員、空氣,、表面,、產(chǎn)品。人員的主要污染源主要來自于人體外細胞的正常脫落和著裝,,另外人的嘴和鼻子也能污染空氣,,說話、咳嗽,、打噴嚏也能產(chǎn)生大量的微生物粒子,,也是污染的關鍵。
潔凈度等級
國家標準GB50073-2001
美國聯(lián)邦標準(USA Federal Standard)209E(1992年)無塵室潔凈度參照
目前FPC行業(yè)主要線路壓干膜,、干膜曝光,、覆蓋膜貼合、油墨印刷,、感光油墨曝光等工序使用無塵室,,主要無塵室等級選用萬級(7級)或者10萬級(8級),部分大的工廠會使用到千級無塵室(6級),。
FPC行業(yè)無塵室常用的測試指標:
溫度:23+/-2℃
相對濕度:60+/-10%
室內(nèi)壓差:5-20PA
潔凈室設計
氣流組織型式及換氣次數(shù)
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