來源：凈化家園,、潔凈工程聯(lián)盟

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  在微電子用潔凈室、藥品生產(chǎn)用潔凈室中,，常常在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生，各種酸性和堿性物質(zhì),、有機(jī)溶劑和一般氣體,、特種氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物,、高活性,、有毒性藥物生產(chǎn)過程還會(huì)有相應(yīng)的有害物質(zhì)排出或泄漏入潔凈室內(nèi)，為此對(duì)于上述產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室內(nèi)可能排出各種有害物質(zhì),、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設(shè)備或工序設(shè)置局部排風(fēng)裝置或全室排風(fēng)裝置,，按生產(chǎn)工藝過程排出的廢氣的類型可將排風(fēng)裝置（系統(tǒng)）大體劃分為下列幾種類型。

  （1）一般排風(fēng)系統(tǒng)

  這是指在生產(chǎn)輔助用室,、生活用室,，如值班室、衛(wèi)生間等排出的一般廢氣,，大多數(shù)情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排入大氣,。

  （2）有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)

  在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類有機(jī)物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時(shí),，都將會(huì)在相關(guān)的場(chǎng)所或設(shè)備處散發(fā)有機(jī)物質(zhì),、溶劑的氣體，對(duì)這類場(chǎng)所或設(shè)備均應(yīng)設(shè)置排風(fēng)裝置,。在一般情況下,，有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)中的有機(jī)氣體濃度是很低的，若能達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的大氣排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)可直接排入大氣,，不需設(shè)置廢氣處理裝置,；當(dāng)排風(fēng)系統(tǒng)中有機(jī)氣體濃度超過規(guī)定時(shí)，應(yīng)設(shè)有機(jī)氣體處理裝置,，經(jīng)過處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣,。有機(jī)排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等,，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉塵,、膠粘物質(zhì)的苯類、汽油類有機(jī)排氣的處理,；液體吸收法,，設(shè)備簡(jiǎn)單、耗能低,，但吸收效率不高,；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類、醇類,、脂類,、汽油等有機(jī)排氣的處理。有機(jī)氣體處理裝置應(yīng)根據(jù)排風(fēng)系統(tǒng)所含有機(jī)物質(zhì)的品種,、濃度情況選用相應(yīng)的處理設(shè)備,。

  （3）酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)

  在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學(xué)腐蝕,、酸液清洗、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)均有酸性氣體排出,，在這類酸性氣體的排風(fēng)系統(tǒng)通常設(shè)置溫式洗氣吸收塔,，處理后排入大氣，圖5-56是幾種吸收式洗氣塔的形式,。實(shí)際設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)根據(jù)酸性氣體的類型,、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式 [20] 。

  （4）堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)

  在排風(fēng)系統(tǒng)氣體中含有堿性物質(zhì)或在排氣中混入堿性化學(xué)試劑,，與酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)類似,，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。近年來,，由于大氣排放標(biāo)準(zhǔn)越來越嚴(yán)格,，需對(duì)含有堿性物質(zhì)（或酸性物質(zhì)）濃度較低的排氣也應(yīng)進(jìn)行凈化處理才能達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，為此可采用專用吸附劑對(duì)堿性排氣（或酸性排氣）進(jìn)行處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣,，此種吸附劑一般為一次性的,，使用后應(yīng)進(jìn)行集中處理，通常作為固體廢棄物由城市垃圾處理場(chǎng)集中處理,。

  （5）熱氣體排風(fēng)系統(tǒng)

  對(duì)生產(chǎn)過程中的各種爐子,、高溫滅菌設(shè)備等均有熱氣排出，由于排氣溫度校高,，有時(shí)可采用熱回收等方式進(jìn)行處理,，若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時(shí)，在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣,。

  （6）含粉塵的排風(fēng)系統(tǒng)

  鑒于產(chǎn)品品種不同,、生產(chǎn)工藝過程不同，排氣中的粉塵性質(zhì),、濃度均各不同,，應(yīng)根據(jù)其排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度選用各類除塵裝置,，一般采用布袋除塵器,、帶過濾元件的過濾裝置 [21] ，圖5-57是一種帶過濾元件的過濾除塵器,，

  此類裝置都可以采取取拍打反吹或更換過濾器元件的方式,，使除塵裝置可較長(zhǎng)期的使用。對(duì)于某些含塵濃度很高的排風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)工程具體情況有時(shí)尚需設(shè)置二級(jí)除塵裝置將大部分粉塵去除后再送入前述的布袋或過濾除塵裝置,，這樣做才能滿足大氣排放標(biāo)準(zhǔn)的要求,，從而穩(wěn)定、經(jīng)濟(jì)地運(yùn)行,。

  （7）特殊氣體排氣系統(tǒng)

  在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體,，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體,，對(duì)于這類排氣系統(tǒng)首先應(yīng)按特氣的品種、性質(zhì)劃分排氣系統(tǒng),，必須防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)；其次應(yīng)選用專用的廢棄處理裝置,，特氣排氣的處理設(shè)備由稀釋法,、吸收法、吸附法,、催化燃燒法等,；再者是排氣系統(tǒng)的設(shè)備、管道的材料選用必須根據(jù)排氣中的特氣性質(zhì)選擇相適應(yīng)的額的材質(zhì),，并不得與排放的特氣發(fā)生反應(yīng),。

  圖5-58是一種特氣處理設(shè)備，首先在催化反應(yīng)段中,，將有害成分催化反應(yīng)（燃燒）后,，再送入吸附段吸附去除各類催化反應(yīng)生成物，達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后排入大氣,。吸附劑按設(shè)計(jì)要求定期再生,、活化恢復(fù)吸附能力。

  （8）藥品生產(chǎn)中有害,、有毒的排風(fēng)系統(tǒng)

  在生產(chǎn)或分裝青霉素等強(qiáng)致敏性藥物,、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間,、二類危險(xiǎn)度以上病原體操作區(qū)的排風(fēng)口,，應(yīng)安裝高效過濾器，使這些藥物引起的污染危險(xiǎn)降低至最低限度,。并且此類排風(fēng)系統(tǒng)的排入大氣的排風(fēng)口與其他藥品生產(chǎn)用凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)進(jìn)風(fēng)口應(yīng)相隔一定距離,。