OLED生產(chǎn)凈化車間裝修工程管理要點

  摘要說明為保證OLED的潔凈生產(chǎn)環(huán)境所采取的各種措施及良好效果。

  OLED是指有機發(fā)光二極管,，又稱為有機電激光顯示

  因為具備輕薄,、省電等特性,，OLED屏幕具備了許多LCD不可比擬的優(yōu)勢。

  OLED器件是在凈化車間內(nèi)進行生產(chǎn)的,，凈化車間裝修工程質(zhì)量好壞,，決定著生產(chǎn)線產(chǎn)品合格率的高低，進而影響產(chǎn)品成本,。

  承建了一個OLED實驗線凈化車間裝修工程,，本文將系統(tǒng)介紹該凈化車間裝修工程管理的要點,。

  1工程概況

  該項目主廠房生產(chǎn)區(qū)域為兩層鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)及鋼屋架結(jié)構(gòu)，混凝土屋面采用柔性高分子卷材屋面,鋼結(jié)構(gòu)屋面采用機械固定的卷材屋面方式，一層層高4.8 m,，二層層高6.4 m,，一層技術(shù)下夾層與二層生產(chǎn)區(qū)之間的樓板采用華夫板方式,，利用華夫板上的開洞滿足兩層之間的回風，華夫板上設(shè)置導(dǎo)電性架空地板,，設(shè)備根據(jù)工藝要求布置在架空地板或華夫板上,。

  2設(shè)施布局

  一層主要包括的功能房間為技術(shù)下夾層,，回風夾道，沿下夾層區(qū)域四周布置有門廳,、換鞋區(qū)、一層,、化學品供應(yīng),、特氣供應(yīng),、廢液收集,、廢水提升站、冷卻循環(huán)水站,、純水拋光間,、真空間,、變電站,、物料暫存間,、成品暫存間等,。

  二層是大開間的工藝生產(chǎn)區(qū),，布置生產(chǎn)設(shè)備,。該層與技術(shù)下夾層之間的結(jié)構(gòu)樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上方安裝架空活動地板,，以滿足回風的要求,；生產(chǎn)設(shè)備層的吊頂安裝風機過慮器單元（F F U）,，以滿足生產(chǎn)層凈化要求,。

  二層核心凈化區(qū)包括的區(qū)域有PVD/CVD,、光刻間,、掩模清洗、注入間,、RTA,、ELA,、CVD,、基板清洗間,、小片切割,、蒸鍍、劃片,、UV硬化、基板切割間,、探針,、陣列檢測間、緩沖間,、有機庫,、FMM庫,、Q A,、回風夾道等,，核心凈化區(qū)周圍的其它功能房間包括有空調(diào)機房、電氣室,、配電室,、維修間,、材料庫等,。在核心凈化生產(chǎn)區(qū)的兩側(cè)設(shè)計回風,、管道豎井,，形成凈化空氣的循環(huán)回路,。并且在建筑的兩邊各設(shè)計多部樓梯,，形成各層對室外的疏散通道,。為滿足凈化生產(chǎn)的微振要求,，二層的樓板——華夫板擬采用較厚的穿孔樓板結(jié)構(gòu),，華夫板面刷環(huán)氧樹脂涂料,，為滿足生產(chǎn)工藝的靈活布置并提高凈化面積的使用效率,，生產(chǎn)人員經(jīng)主入口門廳進入換鞋區(qū),，再進入一次更衣，通過員工專用樓梯進入二層二次更衣室,，再通過風淋室進入生產(chǎn)區(qū),。

  凈化車間裝修工程的空調(diào)系統(tǒng)由M A U（新風處理系統(tǒng)）

  +FFU+干盤管共同構(gòu)成。生產(chǎn)區(qū)吊頂由風機過濾單元（FFU）與金屬吊頂框架組成,，F(xiàn)FU視各生產(chǎn)機臺需要之等級均布,，覆蓋率隨生產(chǎn)工藝需求而定。新風由MAU（新風處理系統(tǒng)）集中處理后與室內(nèi)的循環(huán)風混合,，經(jīng)FFU加壓,、過濾后送入生產(chǎn)區(qū),。生產(chǎn)區(qū)內(nèi)設(shè)備,、人員,、照明、圍護結(jié)構(gòu)等冷負荷均由干盤管承擔,。潔凈室內(nèi)濕度及正壓

  控制由MAU負責,。MAU供風量需求約50000

  CMH×2+1臺,，潔凈室循環(huán)風量約773000 CMH,。新風入口附設(shè)不織布濾網(wǎng)及庫板隔間氣室于新風空調(diào)機組入口前,，延長主要濾網(wǎng)壽命,。

  在化學品庫,、氣體間設(shè)置獨立的空調(diào)系統(tǒng),新風經(jīng)處理后送入室內(nèi)，然后通過排風系統(tǒng)全部排至室外,，空氣不循環(huán)使用,。

  工藝排風系統(tǒng)：在工藝生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生含酸、堿,、有機溶劑、高沸點有機,、有害等廢氣,。為保護生產(chǎn)人員的健康,，減少對工作環(huán)境及廠區(qū)周圍空氣的污染,，分別設(shè)計了相應(yīng)的局部排風系統(tǒng),、全室排風系統(tǒng)及廢氣處理系統(tǒng),。為消除工藝生產(chǎn)區(qū)工藝設(shè)備等散發(fā)的熱量所設(shè)計的局部排風系統(tǒng)、全室排風系統(tǒng)的排風不需處理可直接排入大氣,。為消除工藝生產(chǎn)區(qū)工藝設(shè)備散發(fā)的含酸,、堿、有機溶劑、高沸點有機,、有害等廢氣的局部排風系統(tǒng),，排風須先經(jīng)廢氣洗滌塔等廢氣處理裝置處理，達到國家排放標準后才能排入大氣,。工藝排風系統(tǒng)排風機風量設(shè)定約S T R 4 0 0 C M H×1+1臺,；G E X-D 18000CMH×1+1臺；EX-W&GEX-H 12300CMH×1臺,，備用機與GEX-D共用,；SEX 16 000CMH×1+1臺；ORG 4 000 CMH×1+1臺,，所有工藝排風機均帶變頻器,。

  防、排煙系統(tǒng)：對于大于300 m2的地上房間,、長度大于40 m的疏散走道,、長度大于20 m的內(nèi)走道設(shè)置消防排煙系統(tǒng)。以高度為50 cm的擋煙垂壁劃分防煙分區(qū),，最大防煙分區(qū)的面積為500 m2,。排煙風機的風量為72 000 m3/h（60 000×1.2倍）。密閉房間設(shè)置機械排煙系統(tǒng)時,，同時設(shè)置機械補風系統(tǒng),，補風量為排煙量的50%。防煙樓梯間及其前室,、消防電梯前室或合用前室設(shè)置防煙設(shè)施,。