OLED生產(chǎn)凈化車(chē)間裝修工程管理要點(diǎn)

  摘要說(shuō)明為保證OLED的潔凈生產(chǎn)環(huán)境所采取的各種措施及良好效果,。

  OLED是指有機(jī)發(fā)光二極管，又稱為有機(jī)電激光顯示

  因?yàn)榫邆漭p薄,、省電等特性,，OLED屏幕具備了許多LCD不可比擬的優(yōu)勢(shì)。

  OLED器件是在凈化車(chē)間內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)的,，凈化車(chē)間裝修工程質(zhì)量好壞,，決定著生產(chǎn)線產(chǎn)品合格率的高低，進(jìn)而影響產(chǎn)品成本,。

  承建了一個(gè)OLED實(shí)驗(yàn)線凈化車(chē)間裝修工程,，本文將系統(tǒng)介紹該凈化車(chē)間裝修工程管理的要點(diǎn)。

  1工程概況

  該項(xiàng)目主廠房生產(chǎn)區(qū)域?yàn)閮蓪愉摻罨炷量蚣芙Y(jié)構(gòu)及鋼屋架結(jié)構(gòu),，混凝土屋面采用柔性高分子卷材屋面,鋼結(jié)構(gòu)屋面采用機(jī)械固定的卷材屋面方式,，一層層高4.8 m，二層層高6.4 m,，一層技術(shù)下夾層與二層生產(chǎn)區(qū)之間的樓板采用華夫板方式,，利用華夫板上的開(kāi)洞滿足兩層之間的回風(fēng)，華夫板上設(shè)置導(dǎo)電性架空地板,，設(shè)備根據(jù)工藝要求布置在架空地板或華夫板上,。

  2設(shè)施布局

  一層主要包括的功能房間為技術(shù)下夾層，回風(fēng)夾道,，沿下夾層區(qū)域四周布置有門(mén)廳,、換鞋區(qū)、一層,、化學(xué)品供應(yīng),、特氣供應(yīng)、廢液收集,、廢水提升站,、冷卻循環(huán)水站、純水拋光間,、真空間,、變電站、物料暫存間,、成品暫存間等,。

  二層是大開(kāi)間的工藝生產(chǎn)區(qū),，布置生產(chǎn)設(shè)備,。該層與技術(shù)下夾層之間的結(jié)構(gòu)樓板是有一定開(kāi)孔率的華夫板,，華夫板上方安裝架空活動(dòng)地板，以滿足回風(fēng)的要求,；生產(chǎn)設(shè)備層的吊頂安裝風(fēng)機(jī)過(guò)慮器單元（F F U）,，以滿足生產(chǎn)層凈化要求。

  二層核心凈化區(qū)包括的區(qū)域有PVD/CVD,、光刻間,、掩模清洗、注入間,、RTA,、ELA、CVD,、基板清洗間,、小片切割、蒸鍍,、劃片,、UV硬化、基板切割間,、探針,、陣列檢測(cè)間、緩沖間,、有機(jī)庫(kù),、FMM庫(kù)、Q A,、回風(fēng)夾道等,，核心凈化區(qū)周?chē)钠渌δ芊块g包括有空調(diào)機(jī)房、電氣室,、配電室,、維修間、材料庫(kù)等,。在核心凈化生產(chǎn)區(qū)的兩側(cè)設(shè)計(jì)回風(fēng),、管道豎井，形成凈化空氣的循環(huán)回路,。并且在建筑的兩邊各設(shè)計(jì)多部樓梯,，形成各層對(duì)室外的疏散通道。為滿足凈化生產(chǎn)的微振要求,，二層的樓板——華夫板擬采用較厚的穿孔樓板結(jié)構(gòu),，華夫板面刷環(huán)氧樹(shù)脂涂料,，為滿足生產(chǎn)工藝的靈活布置并提高凈化面積的使用效率，生產(chǎn)人員經(jīng)主入口門(mén)廳進(jìn)入換鞋區(qū),，再進(jìn)入一次更衣,，通過(guò)員工專用樓梯進(jìn)入二層二次更衣室，再通過(guò)風(fēng)淋室進(jìn)入生產(chǎn)區(qū),。

  凈化車(chē)間裝修工程的空調(diào)系統(tǒng)由M A U（新風(fēng)處理系統(tǒng)）

  +FFU+干盤(pán)管共同構(gòu)成,。生產(chǎn)區(qū)吊頂由風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）與金屬吊頂框架組成，F(xiàn)FU視各生產(chǎn)機(jī)臺(tái)需要之等級(jí)均布,，覆蓋率隨生產(chǎn)工藝需求而定,。新風(fēng)由MAU（新風(fēng)處理系統(tǒng)）集中處理后與室內(nèi)的循環(huán)風(fēng)混合，經(jīng)FFU加壓,、過(guò)濾后送入生產(chǎn)區(qū),。生產(chǎn)區(qū)內(nèi)設(shè)備、人員,、照明,、圍護(hù)結(jié)構(gòu)等冷負(fù)荷均由干盤(pán)管承擔(dān)。潔凈室內(nèi)濕度及正壓

  控制由MAU負(fù)責(zé),。MAU供風(fēng)量需求約50000

  CMH×2+1臺(tái),，潔凈室循環(huán)風(fēng)量約773000 CMH。新風(fēng)入口附設(shè)不織布濾網(wǎng)及庫(kù)板隔間氣室于新風(fēng)空調(diào)機(jī)組入口前,，延長(zhǎng)主要濾網(wǎng)壽命,。

  在化學(xué)品庫(kù)、氣體間設(shè)置獨(dú)立的空調(diào)系統(tǒng),新風(fēng)經(jīng)處理后送入室內(nèi),，然后通過(guò)排風(fēng)系統(tǒng)全部排至室外,，空氣不循環(huán)使用。

  工藝排風(fēng)系統(tǒng)：在工藝生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生含酸,、堿,、有機(jī)溶劑、高沸點(diǎn)有機(jī),、有害等廢氣,。為保護(hù)生產(chǎn)人員的健康，減少對(duì)工作環(huán)境及廠區(qū)周?chē)諝獾奈廴?，分別設(shè)計(jì)了相應(yīng)的局部排風(fēng)系統(tǒng),、全室排風(fēng)系統(tǒng)及廢氣處理系統(tǒng)。為消除工藝生產(chǎn)區(qū)工藝設(shè)備等散發(fā)的熱量所設(shè)計(jì)的局部排風(fēng)系統(tǒng),、全室排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)不需處理可直接排入大氣,。為消除工藝生產(chǎn)區(qū)工藝設(shè)備散發(fā)的含酸、堿,、有機(jī)溶劑,、高沸點(diǎn)有機(jī),、有害等廢氣的局部排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)須先經(jīng)廢氣洗滌塔等廢氣處理裝置處理,，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排入大氣,。工藝排風(fēng)系統(tǒng)排風(fēng)機(jī)風(fēng)量設(shè)定約S T R 4 0 0 C M H×1+1臺(tái)；G E X-D 18000CMH×1+1臺(tái),；EX-W&GEX-H 12300CMH×1臺(tái),，備用機(jī)與GEX-D共用；SEX 16 000CMH×1+1臺(tái),；ORG 4 000 CMH×1+1臺(tái)，所有工藝排風(fēng)機(jī)均帶變頻器,。

  防,、排煙系統(tǒng)：對(duì)于大于300 m2的地上房間、長(zhǎng)度大于40 m的疏散走道,、長(zhǎng)度大于20 m的內(nèi)走道設(shè)置消防排煙系統(tǒng),。以高度為50 cm的擋煙垂壁劃分防煙分區(qū)，最大防煙分區(qū)的面積為500 m2,。排煙風(fēng)機(jī)的風(fēng)量為72 000 m3/h（60 000×1.2倍）,。密閉房間設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)時(shí)，同時(shí)設(shè)置機(jī)械補(bǔ)風(fēng)系統(tǒng),，補(bǔ)風(fēng)量為排煙量的50%,。防煙樓梯間及其前室、消防電梯前室或合用前室設(shè)置防煙設(shè)施,。