凈化廠房標準要求(2018圖文版)

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  凈化廠房設(shè)計圖

  凈化廠房標準要求(2018圖文版)凈化廠房真正達到標準要求只有凈化設(shè)備來控制,，凈化廠房標準要求在凈化工程經(jīng)濟和科技發(fā)達的我國和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標準和規(guī)范標準，都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,，例如美國,、日本、西歐,、北歐,、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（G ** 73-84）,，1996年該規(guī)范進行了較大的修改,，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》（JGJ71-90）以指導(dǎo)施工和驗收的重要件,。該規(guī)范在重新修訂中。

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  凈化廠房車間

  凈化廠房標準要求(圖文)分類:亂流式 (Turbulent Flow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室,，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板,。

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  空氣凈化級別

  凈化廠房標準要求(圖文)回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級,。

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  回風(fēng)口

  凈化廠房標準優(yōu)點：

  構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,，潔凈室的擴充比較容易,，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺,，提高潔凈室等級,。

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  無塵工作臺

  凈化廠房標準缺點：

  亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品,。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間,。

  凈化廠房層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

  (1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出,，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴重,。

  凈化廠房優(yōu)點：構(gòu)造簡單,，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

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  傳遞窗

  凈化廠房缺點：建造費用比亂流式高,，室內(nèi)空間不易擴充,。

  (2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹,，可得較高之潔凈度,，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域,。

  優(yōu)點：管理容易,，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響,。

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  ULPA高效過濾器

  凈化廠房缺點：

  構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間,，維修更換過濾器較麻煩,。

  復(fù)合式(Mixed Type)復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣,。

  (1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì),。ULSI制程大都采用此種型式。

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  風(fēng)淋室

  潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易,； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。

  (2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上,。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源,，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用,。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用,。

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  板材

  (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺,、潔凈工作棚,、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

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  凈化空調(diào)

  潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間,，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右,，覆蓋面積約10m2以下,，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用,。

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  潔凈工作棚

  凈化廠房標準要求空氣懸浮粒子濃度受控的房間,。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子,。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,、濕度、壓力等按要求進行控制