無塵室的適用范圍很廣,，只要潔凈要求比較高的都會用到,。今天我們就來為大家講述一下無塵室等級分類及應用標準。

  一,、無塵室的等級說明

  依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard（FS）209E,，1992】，可將無塵室分為六級,。分別是1級,、10級、100級,、1000級,、10000級、100000級,，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,，則可假設塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示,。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下,，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下,，密度不大于35顆/立方英尺）,。

  二、無塵室等級標準

  據查詢無塵室等級標準的版本較多,，于是小編就整理兩個較常用的劃分標準,，分別是國際標準 IOS14 ** 4-1,、中國標準 GB/T16292-1996，具體詳情請看下表：

  空氣潔凈度分級標準：IOS14 ** 4-1（國際標準）

  空氣潔凈度分級標準：GB/T16292-1996（中國標準）

  三,、無塵室標準分類

  >>>亂流式(Turbulent Flow)：

  空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的,。

  優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本低,，無塵室擴充比較容易,，在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級,。

  缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,，易污染產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活,，欲達要求的潔凈度,，需耗時相當長一段時間。

  >>>層流式(Laminar)：

  層流式空氣氣流運動成均勻的直線形,，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內,，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需求較高的環(huán)境使用,，一般其無塵室等級為Class 1~100,。

  其型式可分為二種：

  ?無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統(tǒng)回風,，塵埃隨風向排出室外,，一般下流側污染較嚴重。

  優(yōu)點：構造簡單,，運轉后短時間內即可變穩(wěn)定,。

  缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充,。

  ?無塵車間垂直層流式：房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋,，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度,，在生產中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

  優(yōu)點：管理容易,，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

  缺點：構造費用較高,，彈性運用空間困難,，天花板的吊架相當占空間,，維修更換過濾器較麻煩,。

  >>>復合式(Mixed Type)：

  復合式是將亂流式及層流式予以復合并用,，可提供局部超潔凈空氣。

  ●無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,，可節(jié)省安裝運轉費用,。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質,，超大規(guī)模集成電路生產大都采用此種型式,。

  潔凈隧道另有二項優(yōu)點：彈性擴充容易、維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。

  ●無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,，少量的送風即可得到良好的潔凈度,，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線最適宜使用,。藥品,、食品及半導體均適用。

  ●無塵車間并裝局部無塵室(Clean Spot)：將亂流無塵室內的產品生產區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,，為生產用,。

  四、無塵室的應用標準

  若想檢驗無塵室是否達到應用標準,，大家可以先從遮蔽率,；風速、溫濕度,；壓差,、構成要求這四個方面考慮：

  >>>遮蔽率

  Air Change：FFU的表面積*風速*FFU數量/無塵室體積

  HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數量/無塵室面積

  >>>風速、溫濕度

  氣流速度為：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）

  一般溫度控制范圍：T=（21±2）℃

  一般濕度控制范圍：（45±5）%RH

  >>>壓差

  在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa,，而在無塵室和未確認潔凈等級的區(qū)域應保持有15Pa的壓力差,。當產生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的,。

  >>>構成要求

  A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕

  B.不易產生微塵粒子,，且很難附著粒子

  C.吸濕性小

  D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高

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