潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣,、細(xì)菌等之污染物排除,,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度,、室內(nèi)壓力,、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),,而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,此空間我們稱之為潔凈室,。廣州無(wú)菌車間
潔凈室控管:?能防止微塵粒子之產(chǎn)生,;溫度和濕度之控制;有害氣體之排除,;防制靜電,。
潔凈室之分類:
1.亂流式:空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng),。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài),。廣州潔凈室設(shè)計(jì)
2.層流式:水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),,塵埃隨風(fēng)向排出室外,,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重;垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,,空氣由上往下吹,,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所,。
3.復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,,可提供局部超潔凈之空氣,。