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潔凈廠房的使用維護管理

作者:超級管理員 瀏覽量:1042 來源:本站 時間:2022-05-23 11:57:24

信息摘要:

一,、污染源控制潔凈廠房潔凈度之維持和控制,,除了硬設(shè)備之配合投資外,,也需要良好的軟件——管理制度來搭配,方能維持良好的潔凈度,。潔凈廠房內(nèi)之微污染來源,,經(jīng)測試分析結(jié)果,作業(yè)人員占約80%,,如圖1所示,。實驗數(shù)據(jù)顯示,作業(yè)人員進出潔凈廠房時塵埃有顯著增加,,有人動作時,,潔凈度馬上劣化,可見潔凈度劣化之原因人

一,、污染源控制 

潔凈廠房潔凈度之維持和控制,除了硬設(shè)備之配合投資外,,也需要良好的軟件——管理制度來搭配,,方能維持良好的潔凈度。潔凈廠房內(nèi)之微污染來源,,經(jīng)測試分析結(jié)果,,作業(yè)人員占約80%,如圖1所示,。實驗數(shù)據(jù)顯示,,作業(yè)人員進出潔凈廠房時塵埃有顯著增加,有人動作時,,潔凈度馬上劣化,,可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。 

潔凈廠房的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源,。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng),、間隙滲入、建筑物,、工作服,、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2、O2,、Air,、給水、溶劑等,;而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備,、工作人員、工具,、加工制程,、隔間材料,、工作桌、包裝材料等,, 

對硅芯片而言,,微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路,使芯片失去運作功能,,因此微污染源的控制已成為潔凈廠房管理的重要環(huán)節(jié),。表一為自然環(huán)境所測得的塵埃濃度,可為設(shè)計參考,,而在微污染控制,,其基本原則有四: 

1.外部塵埃侵入之防止: 

潔凈廠房適當(dāng)之正壓保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏氣,,人員設(shè)備,、原材料搬入潔凈廠房前先做好清潔擦拭等防塵動作,空氣過濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置,。 

2.室內(nèi)發(fā)塵之防止: 

隔間板,、地板等潔凈廠房材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制,、生產(chǎn)自動化及人員不聚集,、動作放松、潔凈衣的管理,、使用潔凈廠房專用器等,。 

3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留: 

墻壁體應(yīng)光滑無死角、潔凈廠房需定期保養(yǎng)和清掃,、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間,。 

4.發(fā)生塵埃之排除: 

換氣次數(shù)應(yīng)足夠,適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng),。 

人,、物入室的管理問題、實際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問題,、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問題,,這些問題將于下節(jié)祥述。 

二,、潔凈廠房運轉(zhuǎn)管理 

潔凈廠房運轉(zhuǎn)管理,,可依作業(yè)人員、原物料,、設(shè)備及潔凈廠房內(nèi)所用東西等加以探討,,并依計劃(planning)、實施(Doing),、追蹤(Checking),、動作(Action)之PDCA循環(huán)步驟執(zhí)行,。 

1.作業(yè)人員之管理 

前以提及在潔凈廠房內(nèi)污染來源80%來自作業(yè)人員,因此若能使作業(yè)人員依潔凈廠房管理,而所有人員也均能配合實施,,則污染源的產(chǎn)生可說已減大半?,F(xiàn)就進入潔凈廠房的作業(yè)人員之管理和注意事項說明如下: 

(1)進入潔凈廠房之人員,必須要具備有達成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn),,并要維持最好狀態(tài)之觀念,。 

(2)作業(yè)人員進入潔凈廠房數(shù)目以維持最小限度原則(愈少愈好),并須依潔凈廠房進出標(biāo)準(zhǔn)流程進出潔凈廠房,,如圖3所示,。出則相反方向進行,唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理,。 

(3)對作業(yè)人員必須經(jīng)常講解潔凈廠房管理之?dāng)?shù)據(jù),,并加以教育與訓(xùn)練,內(nèi)容如潔凈廠房管理之一般常識,、潔凈廠房之構(gòu)造與功能,、維護和清潔、安全對策,、搬運器材之潔凈管理與檢查,、潔凈衣之穿脫,、潔凈廠房內(nèi)之步行方式等,,并經(jīng)考試合格者方能進入潔凈廠房工作。

(4)在潔凈廠房作業(yè)人員須經(jīng)常保持自己各方面的干凈與清潔,。 

(5)在潔凈廠房內(nèi)之作業(yè)人員或其它人員之移動或動作均為發(fā)塵源,,其直接影響制程,同時亦會影響氣流之?dāng)_動,,為防止與控制上述情形,,基本上須注下列事項: 

a.不可在作業(yè)區(qū)域氣流之上方放置物品或做其它作業(yè)。 

b.不必要之動作盡量避免以防止亂流發(fā)塵,。 

c.與作業(yè)無關(guān)的私心談話盡量避免,。 

d.為控制發(fā)塵量,人員步行及作業(yè)要靜靜地進行,。表2所示為人體在不同動作時之發(fā)塵量,。 

e.作業(yè)要在潔凈之工作柜或工作桌進行。 

f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中,,并置放一定的場所,。 

(6)作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手,除了常洗手,、剪指甲外,,手并應(yīng)保養(yǎng),,以防皮膚之剝離,男性須每天刮胡子,。 

(7)潔凈衣要經(jīng)常保持著衣之狀態(tài),。 

(8)下列所述者不能進入潔凈廠房: 

a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。 

b.未照規(guī)定穿著潔凈衣者,。 

c.剛做激烈運動流汗者,。 

d.吸煙或吃東西后,尚未經(jīng)過半小時以上者,。圖4為吸煙和未吸煙者微塵產(chǎn)生量與時間之比較圖,,由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍,直至30分鐘后才降至15倍,,此為為何潔凈廠房禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準(zhǔn)進入的原因所在,。故針對在潔凈廠房作業(yè)人員之招募,若能選擇不吸煙者為對象,,將可帶來甚大利益,。 

人體不同動作之微塵產(chǎn)生數(shù) 

(9)有下列健康狀態(tài)或體質(zhì)者原則上不能進入潔凈廠房: 

a.因日曬、濕診而皮膚有問題者,。 

b.化學(xué)纖維或有機溶劑等化學(xué)藥品有過敏性體質(zhì)者,。 

c.容易出受汗者。 

d.比一般人皮膚表皮容易剝離,、頭皮或體毛容易掉落者,。 

e.化妝或涂口紅者。 

f.有重大精神病,、神經(jīng)過敏或閉瑣恐懼者,。 

g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者,。 

但對于有下列性格的人,,則最適宜進入潔凈廠房工作: 

a.做事細心有耐性者。 

b.勤于整理整頓,,經(jīng)常自己注意身邊清潔的人,。 

c.經(jīng)常留意自己之健康者。 

10.以下之物品不能帶進潔凈廠房: 

a)沒有經(jīng)過清潔過程之器材,、零件物品,、測定器等各種物品。 

b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記錄或筆記用紙,、影印數(shù)據(jù)等,。 

c)鉛筆、橡皮擦、墨水等,。 

d)香煙,、化妝品、衛(wèi)生紙,、飲食品等,。 

e)作業(yè)員個人用品如打火機、寶石,、裝飾品,、錢包、鑰匙,、手帕,、小日記手冊或其它個人物品等。 

潔凈廠房潔凈度維持之最大控制對象為作業(yè)人員,,因此對于作業(yè)人員之?dāng)?shù)目,、行動狀態(tài)、進出規(guī)則之制定與執(zhí)行,,提高潔凈廠房內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識,、反復(fù)教育,均為必須,,表3所示為因作業(yè)人員之動作而產(chǎn)生污染的增加倍率,。 

2.原物料、設(shè)備進出管理 

除了人員進出潔凈廠房須予于規(guī)范管理外,,愿物料及設(shè)備之進出也必須經(jīng)過潔凈程序,,方不至于影響潔凈廠房之潔凈度。其進潔凈廠房之流程如表4所示,。至于搬出則反方向而行,,但不須經(jīng)潔凈程序,。 

原物料及設(shè)備進出用潔凈廠房為潔凈廠房等級1000或10000級之房間,,工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或物料時必須穿著潔凈衣服,所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布,,清潔劑除了使用超純水之外,,并加入3~5%濃度的IPA或丙酮化學(xué)品,以增強去污能力,,由于IPA及丙酮具揮發(fā)性,,故此房間之排氣效果須特別考慮。搬運設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面,,必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板,,作為輔助。 

3.潔凈廠房內(nèi)用品管理 

潔凈廠房內(nèi)用品除了進出潔凈廠房用的潔凈衣,、鞋,、頭罩,、帽、手套,、口罩外,,尚有如紙張文具、桌子,、椅子,、芯片盒、搬運車,、筆記本,、告示板及垃圾箱、吸塵器等,。 

潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件,,且其布料為不易燃燒、不起毛,,其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì),,另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小,洗滌再生容易,、不易皺,、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成,,帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同,,二者在穿戴使用時,除了只露出眼睛和臉表面部分外,,其它部分均需包覆,,在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住,不能留有空隙,,頭發(fā)亦不能露出來,。潔凈廠房用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件,容易洗滌,,底則采用塑料底,,布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著,。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂(Viny1),,在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用,,原則上不使用有粉之Viny1手套為佳,。 

潔凈衣鞋帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈廠房內(nèi)進行,。并以純水配合清潔溶劑,,并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定,,在高潔凈區(qū)(CLASS1)為2~3天,,其它區(qū)域則為五天至一星期,洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封,。潔凈衣之置放場所亦須為潔凈廠房,,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,,以方便取用,。 

桌椅一般以不銹鋼材質(zhì),并需表面加工處理為之,,若不得不使用鍍鋅品或木制品,,其表面須施環(huán)氧樹脂(Epxoy)加工以防表面發(fā)塵。工作桌最好有打洞,,邊緣有倒角,。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者,,椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則,。但若一定須使用高腳椅時,則要準(zhǔn)備腳踏環(huán),。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套,。 

芯片盒為放置芯片之用,材質(zhì)以選取擇不易摩損,、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗(Teflon)等,,至于搬運車則以構(gòu)造簡單為原則,并忌使用折迭式,,材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜,,車輪為耐磨性高之橡膠輪胎,車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承,。推送搬運車時不得急速運推而以緩行為適,。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者,,且不得使用影印數(shù)據(jù),,若非萬不得已須使用,則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背,,同時不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F,,避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高潔凈廠房內(nèi)使用,,必要時可在更衣室等潔凈廠房較低等級的區(qū)域使用白板,。潔凈廠房內(nèi)不得放置清潔用具,垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼,,且置于維修區(qū)中的固定位置,,桶須覆以蓋子,以利管制,,并定期清理,。 

真空吸塵器,其功能是在吸取潔凈廠房內(nèi)地板上,、下及設(shè)備上附著之塵?;蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚,以達到清潔的目的,,由于真空吸塵器在作業(yè)時會有排氣產(chǎn)生,,若未經(jīng)處理,將嚴(yán)重影響潔凈廠房之潔凈度和氣流,,因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器,,以除去塵埃。唯現(xiàn)今之高級潔凈廠房均設(shè)有中央式吸塵系統(tǒng),,并于現(xiàn)場預(yù)留吸塵口,,故一般之清潔過程均利用此中央系統(tǒng),以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾,在使用中央式系統(tǒng)時,,須注意排氣旦之控制避免使?jié)崈魪S房內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下,。至于真空吸塵器因?qū)贊崈魪S房內(nèi)專用,故不可移至室外使用,,若不用時應(yīng)置于較低等級的潔凈廠房中,,旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng),。 

三,、潔凈廠房各系統(tǒng)維護保養(yǎng)管理 

潔凈廠房內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外,制程設(shè)備也包括在內(nèi),,本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運轉(zhuǎn)維護及保養(yǎng)做一概略說明,。 

潔凈廠房內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點有三: 

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng): 

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備,,尤其須注意活動部分之發(fā)塵,。 

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。 

c.生產(chǎn)用之水,、氣體,、藥品等往往是造成污染的原因,,故應(yīng)配備過濾裝置。 

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時,,事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu),,規(guī)劃各并以容易清潔為原則。 

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備,,應(yīng)設(shè)置在潔凈廠房外面或回風(fēng)區(qū),,并加裝排氣管線排氣。 

f.設(shè)置給水管線,、氣體管線和電氣系統(tǒng)時,,其構(gòu)造須考慮到容易清潔,不易積累污染物,。 

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃,,以避免微塵之堆積。 

h.應(yīng)加強注意室內(nèi)的溫濕度控制,,避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹,。 

i.當(dāng)設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,,并加隔離柵隔離,。 

j.對于施工或維修之廠商,應(yīng)告知進出潔凈廠房之各項規(guī)定,,且負責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。 

k.應(yīng)有潔凈廠房專用工具組,,但不得帶出潔凈廠房外使用。 

l.規(guī)劃空間時若能臨近潔凈廠房設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室,,將是一理想之規(guī)劃。 

2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施: 

a.磨損,、切削均為發(fā)生微塵之原因,故需將發(fā)塵部分掩蓋之,。 

b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備,,若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點,。 

c.在操作時,盡量減少接觸零件或產(chǎn)品,。 

d.不得有太大或不必要的操作動作,,以免卷起附近之灰塵。 

e.各項廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水,、氣體和化學(xué)品于進入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備,。 

f.為不使氣體或液體滯留,,造成微污染,,故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置,。 

3.自動化與無塵化: 

a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng),可減少人員方面所帶來的污染,,唯費用相當(dāng)昂貴,,須詳加評估,。 

b.建立管制項目如進入潔凈廠房人員的資格限定,,潔凈廠房作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則,潔凈廠房管理規(guī)則等,,這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述,此處不再說明,。 

潔凈廠房之維護管理方面,,可分三部分加以說明: 

1.建筑物之維護管理: 

a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。 

b.地板之清掃管理及損壞更新,。 

c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。 

d.窗戶及門之保養(yǎng)等,。 

2.環(huán)境測定與管理: 

潔凈廠房內(nèi)之運轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫,、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測,以確實掌握質(zhì)量,,若有數(shù)據(jù)異常,可立即做緊急處理,。 

3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護管理: 

a.溫、濕度及塵埃濃度管理,,在前面以述及,,唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗,,若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。 

b.過濾網(wǎng)之管理:定期檢查及更換,,表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。 

c.空氣調(diào)節(jié)器管理:定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況,,冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。 

d.送風(fēng)機之管理:定期檢查送風(fēng)機運轉(zhuǎn)狀況,。如表7所示為送風(fēng)機之各項檢查內(nèi)容及周期,。 

e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理:檢查風(fēng)管是否有腐蝕,、污染、塵埃堆積或保溫脫落等,。 

f.測試及量測儀器管理:定期校正及保養(yǎng),。 

g.室內(nèi)壓力管理:連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄,,以維持正壓為基準(zhǔn)。 

h.冷凍主機,、泵浦,、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養(yǎng)及記錄運轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析,以調(diào)整加藥量等,。 

i. 潔凈廠房停止運轉(zhuǎn)再開機要點管理:啟動后立即進行微塵粒子之測試,須潔凈廠房恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè),。表8為空調(diào)設(shè)備應(yīng)檢查之項目。 


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