無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換句話來說,，就是人,、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃的移動,、擴散等受到氣流的支配,。  

     從凈化原理上來講無塵車間是利用HEPA、ULPA過濾空氣,，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈，潔凈等級在1-100萬級之間,。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,，還有機器和生產(chǎn)原材料等產(chǎn)生發(fā)塵源的客觀因素，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,，即無法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。  

     無塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人,、機器等的動作而干擾趨于混亂,、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準之時，能以*適當?shù)娘L速供應(yīng),，以達到適當?shù)娘L速供應(yīng)以達到經(jīng)濟性效果,。  

     另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素,，均一氣流若無法保持,，表示風速有異，特別是在壁面,，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。

     無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(1)吹出面的風速不可有速度上的差異,；(2)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異,。速度過低或過高(0.2m/s,，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度,，氣流則較均一,，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間,。 

     影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備,、人員,、潔凈室組裝材、照明器具等,，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,，亦應(yīng)列入考慮因素。所以在可能產(chǎn)生塵源流動之前就要先經(jīng)過風淋室通道的清潔,。一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時,，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方,，將成為不當?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,，工作臺因而將受到污染,，良率也勢必降低。

     無塵車間無塵車間內(nèi)的工作桌等障礙物,，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔,，將使渦流現(xiàn)象減少*低,；組裝材料之選擇是否恰當、設(shè)備怖局是否完善,，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素,。

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