無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換句話來說,，就是人,、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃的移動,、擴(kuò)散等受到氣流的支配,。  

     從凈化原理上來講無塵車間是利用HEPA、ULPA過濾空氣,，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈，潔凈等級在1-100萬級之間,。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,，還有機(jī)器和生產(chǎn)原材料等產(chǎn)生發(fā)塵源的客觀因素，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,，即無法保持潔凈空間,，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。  

     無塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人,、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度,、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時,，能以*適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。  

     另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持,，表示風(fēng)速有異,，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難,。

     無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(1)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(2)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過低或過高(0.2m/s,，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度,，氣流則較均一,，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間,。 

     影響潔凈室的氣流因素很多,，如制程設(shè)備、人員,、潔凈室組裝材,、照明器具等,，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),，亦應(yīng)列入考慮因素。所以在可能產(chǎn)生塵源流動之前就要先經(jīng)過風(fēng)淋室通道的清潔,。一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時,，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,，工作臺因而將受到污染,，良率也勢必降低,。

     無塵車間無塵車間內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,，相對地在其附近之潔凈度將會較差,，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少*低,；組裝材料之選擇是否恰當(dāng),、設(shè)備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素,。

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