1.處理芯片時(shí),,必須戴上無(wú)纖維手套,使用清洗過(guò)的干凈鑷子挾持芯片,,請(qǐng)勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸污染過(guò)的芯片須經(jīng)清洗,,方得繼續(xù)使用:
(1)任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過(guò),,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請(qǐng)勿用紙巾或布擦拭臟鑷子,。
(2)芯片清洗后進(jìn)行下一程序前,,若被手指碰觸過(guò),必須重新清洗,。
(3)把芯片放置于石英舟上,,準(zhǔn)備進(jìn)爐管時(shí),若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,,必須將芯片重新清洗,,并立即更換干凈的鑷子使用。
2.芯片必須放置盒中,,蓋起來(lái)存放于規(guī)定位置,,盡可能不讓它暴露。
3.避免在芯片上談話,,以防止唾液濺于芯片上,,在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前,請(qǐng)?zhí)貏e注意,,防止上述動(dòng)作產(chǎn)生,,若芯片上沾有纖維屑時(shí),,用氮?dú)鈽寚娭?/p>
4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上,,取出芯片時(shí),,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,,顯微鏡鏡頭確已離芯片,,方可從吸座上移走芯片。
5.芯片上,,若已長(zhǎng)上氧化層,,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。
6.操作時(shí),,不論是否戴上手套,,手絕不能放進(jìn)清洗水槽。
7.使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí),,務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),,不可使用塑料盒。
8.擺置芯片于石英舟時(shí),,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,,然后再進(jìn)氧化爐。
9.請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)部,,如被碰觸或有碎芯片污染,,必須重作清洗。
10.手套,,廢紙及其它雜碎東西,,請(qǐng)勿留置于操作臺(tái),手套若燒焦,、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新,。
11.非經(jīng)指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手,。
12.奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液,,顏色,聲響等請(qǐng)即通知相關(guān)人員,。
13.儀器因操作錯(cuò)誤而有任何損壞時(shí),,務(wù)必立刻告知負(fù)責(zé)人員或老師。
14.芯片盒進(jìn)出無(wú)塵室須保持干凈,,并以保鮮膜封裝,,違者不得進(jìn)入。
15.無(wú)塵室內(nèi)一律使用原子筆及無(wú)塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入,。