1.處理芯片時,,必須戴上無纖維手套,使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片,,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,,遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)清洗,方得繼續(xù)使用:
(1)任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,,或是鑷子掉落地上,,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
(2)芯片清洗后進(jìn)行下一程序前,,若被手指碰觸過,,必須重新清洗。
(3)把芯片放置于石英舟上,,準(zhǔn)備進(jìn)爐管時,,若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,,并立即更換干凈的鑷子使用,。
2.芯片必須放置盒中,蓋起來存放于規(guī)定位置,,盡可能不讓它暴露,。
3.避免在芯片上談話,,以防止唾液濺于芯片上,,在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前,,請?zhí)貏e注意,防止上述動作產(chǎn)生,,若芯片上沾有纖維屑時,,用氮?dú)鈽寚娭?/p>
4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上,,取出芯片時,,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,,顯微鏡鏡頭確已離芯片,,方可從吸座上移走芯片。
5.芯片上,,若已長上氧化層,,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。
6.操作時,,不論是否戴上手套,,手絕不能放進(jìn)清洗水槽。
7.使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時,,務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),,不可使用塑料盒。
8.擺置芯片于石英舟時,,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,,然后再進(jìn)氧化爐。
9.請勿觸摸芯片盒內(nèi)部,,如被碰觸或有碎芯片污染,,必須重作清洗。
10.手套,,廢紙及其它雜碎東西,,請勿留置于操作臺,手套若燒焦,、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新,。
11.非經(jīng)指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手,。
12.奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液,,顏色,聲響等請即通知相關(guān)人員,。
13.儀器因操作錯誤而有任何損壞時,,務(wù)必立刻告知負(fù)責(zé)人員或老師。
14.芯片盒進(jìn)出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,,違者不得進(jìn)入,。
15.無塵室內(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入,。