1,、以無生命微粒為控制的對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài),。2,、它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體,、集成電路等)宇航工業(yè),、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè),、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤,、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃),、電腦硬盤,、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。3,、電子工廠潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應(yīng)電子行業(yè)快速發(fā)展的需要,。從潔凈廠房的規(guī)劃開始,對于電子工廠潔凈廠房的工藝設(shè)計,、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。同時考慮系統(tǒng)的節(jié)能運行,。

—  半導體無塵車間裝修工程  ——

設(shè)計及施工內(nèi)容  

該項目涉及設(shè)計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程,、凈化通風風調(diào)系統(tǒng)工程、車間排風系統(tǒng)工程,、配電系統(tǒng)工程,、工藝管道工程、給排水工程
 
  設(shè)計規(guī)范及依據(jù)  

業(yè)主提供的圖紙和技術(shù)文件及現(xiàn)楊勘察資料
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》
《電子工業(yè)沽凈廠房設(shè)計規(guī)范》
《沽凈廠房施工與驗收規(guī)范》
《金屬面巖棉,、礦渣巖棉夾芯板》
《建筑設(shè)計防火規(guī)范》
《潔凈廠房建筑構(gòu)造》

  潔凈室系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)   

1,、壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；
2,、平均風速：0.3－0.5m/s（百級）,；
3,、噪聲≤65dB（A）；
4,、新風補充量是總送風量的10％－30％,；
5、照度300LX,；
6,、溫度：20-26 度（車間），溫度：12-23度（測試）
7,、濕度：50-70%RH（車間）,，濕度40-85%RH（測試）
8、潔凈度等級：百級－30萬級用于測試區(qū)域,，千級－30萬級用于生產(chǎn)制造區(qū)域
9,、ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容，靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害,，還可能引起硅片表面塵粒吸附,，影響產(chǎn)品的良率。

  半導體凈化車間設(shè)計及注意事項 

1,、半導體凈化無塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進,，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間,。
2,、為保持恒溫與恒濕，空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用,。鼓風機加壓多久,，空調(diào)就得開多久。
3,、所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主,，因此，凈化無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀,，使塵埃,、細菌等在無塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4,、半導體無塵車間所有用得到的氣源,，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%),，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮,。
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的重點難點外，還有潔凈建筑裝飾施工,、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風管,、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝,、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應(yīng)等）及其管線安裝,、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝,、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝,、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電,、電氣系統(tǒng)及其橋架,、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝,、防微振裝置的安裝,、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。